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國內首臺晶圓自動翻轉倒片機成功應用 破解國產晶圓自動翻轉倒片機自動化難題
2019-12-20 15:55:30 來源： 北京商報
證券時報e公司訊，晶圓倒片機是用來調整集成電路產線上晶圓生產材料序列位置的一款設備，它的任務是將產線上的晶圓通過制程需要進行分批、合并、翻轉后進行下一道程序，這就要求晶圓倒片機擁有極高的傳送效率和潔凈程度。近日，北京京儀自動化裝備技術有限公司經過多年探索，成功研發出國內首臺晶圓自動翻轉倒片機，破解了國產晶圓自動翻轉倒片機自動化難題。
關鍵詞： 自動翻轉倒片機
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